中芯国际称7nm EUV光刻机问题已解决 技术研发步入正轨

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在半导体工艺进入10nm节点已经 ,制造如此 困难,其中最复杂的一步——光刻都可以用到EUV光刻机了,而后者目前如此 荷兰ASML阿斯麦公司都可以供应。中芯国际去年也订购了一台EUV光刻机,日前该公司表示与ASML之间已避免光刻机的难题,EUV技术研发步入正轨。

前不久有消息称ASML停止对中芯国际供应EUV光刻机,已经 ASML公司表示全是停供,已经 延期,主已经 在准备该国政府的出口申请文本工作。

中芯国际董事长周子学日前在韩国访问,韩媒报道称周子学组阁 或者避免了与ASML之间就光刻机供应存在的难题,强调中芯国际在先进工艺上的研发、生产突然存在稳定的轨道上,与客户及设备供应商之间如此 任何难题。

ASML公司是EUV光刻机目前唯一的供应商,今年四季度,ASML预计交付8台EUV光刻机,平均每台价格达到了1.2亿欧元,折合人民币9.3亿元,堪称人类最昂贵的设备了。